接觸式儀器中，典型代表為表面粗糙度測(cè)試儀，其通過觸針與樣品表面的直接接觸來追蹤并測(cè)量樣品的表面輪廓。

非接觸式儀器，則包括白光干涉儀和激光掃描顯微鏡，它們利用光學(xué)原理進(jìn)行高精度的測(cè)量。

此外，原子力顯微鏡也是一種重要的非接觸式儀器，其分辨率甚至可以達(dá)到亞納米級(jí)別。

在對(duì)比各種儀器的性能時(shí)，我們可以發(fā)現(xiàn)它們?cè)跍y(cè)量分辨率、高度測(cè)量范圍、可測(cè)范圍、角度特性以及數(shù)據(jù)分辨率等方面各有千秋。例如，表面粗糙度測(cè)試儀的測(cè)量分辨率通常為1納米，而原子力顯微鏡則能達(dá)到更小的分辨率。同時(shí)，各種儀器在高度測(cè)量范圍和可測(cè)范圍上也有所不同，需要根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇。

另外，值得注意的是，接觸式儀器如表面粗糙度測(cè)試儀，其測(cè)量過程中觸針與樣品表面的接觸可能會(huì)對(duì)樣品造成一定程度的損傷。因此，在選擇測(cè)量?jī)x器時(shí)，需要權(quán)衡測(cè)量精度與樣品保護(hù)的需求。而非接觸式儀器則避免了這一問題，它們通過光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量，對(duì)樣品無損傷。

總的來說，選擇哪種測(cè)量?jī)x器應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求來定。在了解各種儀器的特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，我們可以根據(jù)測(cè)量任務(wù)的具體要求，如精度需求、樣品特性等，來挑選合適的儀器。

在精確測(cè)量精致形狀和粗糙度時(shí)，選擇合適的接觸式表面粗糙度儀至關(guān)重要。為了確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，觸針的半徑需要盡可能小，同時(shí)接觸壓力也要保持低水平。觸針通常由藍(lán)寶石或金剛石制成，其半徑可達(dá)10微米或更小。此外，觸針的形狀也至關(guān)重要，圓錐形帶有圓珠筆尖的設(shè)計(jì)常被視為觸控筆的理想選擇。在理想測(cè)量?jī)x器中，錐體通常具有60°的錐度。